2022年09月05日 17:35:59
机构:电子特气NF3、WF6短缺或将持续至2026年
《科创板日报》5日讯,研究机构TECHCET日前表示,半导体制程工艺所需的特种气体三氟化氮 (NF3) 和六氟化钨 (WF6) 供应持续紧张,这样的状态或将延续至2025-2026年。其中,NF3供应紧缺程度尤高,包括显示面板在内的泛半导体制造对NF3需求不断增加,预计未来五年市场规模将增加72%。另外,WF6则广泛应用于3D NAND生产,但存储器厂商已在研究新型材料替代方案。
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