《科创板日报》15日讯，台积电近日表示，荷兰光刻机制造商ASML的新型光刻机价格过于昂贵，目前不打算采购。台积电高级副总裁张晓强在技术研讨会上评论ASML的最新高数值孔径极紫外光刻机（high-NA EUV）时指出：“这个价格实在太高了。”尽管对光刻机的性能表示满意，但其高达3.5亿欧元（约合27亿元人民币）的售价令人望而却步。