2020年07月30日 13:07:52
中微公司发布用于深紫外LED量产的MOCVD设备Prismo HiT3™
《科创板日报》30日讯,中微半导体设备(上海)股份有限公司,今日宣布推出Prismo HiT3™ MOCVD设备,主要用于深紫外LED量产。该设备目前已进入全球大多数领先的蓝绿光LED制造商,此次推出的Prismo HiT3™是中微Prismo系列MOCVD设备的最新产品。是适用于高质量氮化铝和高铝组分材料生长的关键设备,反应腔最高温度可达1400度,具有优异的工艺重复性、均匀性和低缺陷率。该设备同时也为高产量而设计,单炉可生长18片2英寸外延晶片,并可延伸到生长4英寸晶片。
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