2020年07月30日 14:31:05
中微公司发布用于深紫外LED量产的MOCVD设备
《科创板日报》30日讯,中微公司今日宣布推出Prismo HiT3TM MOCVD设备,主要用于深紫外LED量产。该设备是适用于高质量氮化铝和高铝组分材料生长的关键设备。该设备同时也为高产量而设计,单炉可生长18片2英寸外延晶片,并可延伸到生长4英寸晶片。
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