《科创板日报》13日讯，科创板上市公司芯源微在互动平台上表示，“奉天一号”是芯源微针对前道光刻工艺开发的涂胶显影机。公司生产的前道Barc（抗反射层）涂胶设备已通过上海华力工艺验证，可满足客户28nm技术节点加工工艺。公司涂胶显影机14nm制程的研发尚未正式启动，目前仍处于计划阶段。