2020年10月14日 15:31:14
独家电报|ASML全新EUV光刻机将于2021年中期发货
《科创板日报》14日讯,《科创板日报》记者从ASML获悉,其公布了EUV路线图上的新机型TWINSCANNXE:3600D的最终规格,这是30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆,提高了18%的生产率,并改进机器匹配套准精度至1.1纳米,并计划于2021年的中期开始发货。(记者 戚夜云)
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