财联社1月13日讯，至纯科技公告，此次募集资金投资项目半导体湿法清洗设备扩产项目的实施主体为江苏启微半导体设备有限公司(“江苏启微”)、光电子材料及器件制造基地建设项目的实施主体为天津波汇光电技术有限公司(“天津波汇”)。江苏启微为至微半导体(上海)有限公司(“至微半导体”)的全资子公司，至微半导体为公司控股子公司。公司计划以增资的方式实施募投项目。公司将募集资金3.1亿元增资至天津波汇；将募集资金2.55亿元向至微半导体增资，再由至微半导体将2.55亿元增资至江苏启微。