2021年02月21日 08:25:28
年产刻蚀机、PVD等设备超150台 北方华创集成电路装备项目或6月竣工
《科创板日报》21日讯,北方华创高端集成电路装备研发及产业化项目,目前正在装饰装修阶段,该项目预计6月初全部竣工,并将交付业主使用。据悉,该高端集成电路装备研发及产业化项目为地下2层、地上10层,将建设28纳米以下集成电路装备工艺验证及产业化条件,搭建5或7纳米先进工艺设备测试验证平台,进行先进半导体工艺装备研发及产业化。项目建设完成后,将具备年产刻蚀机、PVD、退火炉、立式炉、清洗机等设备150台以上的能力。
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