2021年04月06日 13:12:41
中微公司:公司12英寸高端刻蚀设备已应用于5纳米芯片生产线
《科创板日报》6日讯,今日,中微公司董事长、总经理尹志尧表示,公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及其他先进的集成电路加工制造生产线和先进封装生产线。其中,公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户最先进的生产线上并用于5纳米、5纳米以下器件中若干关键步骤的加工;公司MOCVD设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产。
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