《科创板日报》10日讯，昨日，中微公司在上海总部举办电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova第100台反应腔交付客户仪式。Primo nanova是中微公司于2018年正式发布的第一代电感耦合等离子体刻蚀设备。目前，Primo nanova产品已成功进入海内外十余家客户的晶圆生产线。