2021年06月10日 12:53:03
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova第100台反应腔交付
《科创板日报》10日讯,昨日,中微公司在上海总部举办电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备Primo nanova第100台反应腔交付客户仪式。Primo nanova是中微公司于2018年正式发布的第一代电感耦合等离子体刻蚀设备。目前,Primo nanova产品已成功进入海内外十余家客户的晶圆生产线。
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