上海市人民政府办公厅印发《上海市先进制造业发展“十四五”规划》。《规划》指出，发挥上海产业基础和资源禀赋优势，以集成电路、生物医药、人工智能三大先导产业为引领，大力发展电子信息、生命健康、汽车、高端装备、先进材料、时尚消费品六大重点产业，构建“3+6”新型产业体系，打造具有国际竞争力的高端产业集群。

在集成电路方面，规划指明确发展目标，到2025年，基本建成具备自主发展能力、具有全球影响力的集成电路创新高地。以自主创新、规模发展为重点，提升芯片设计、制造封测、装备材料全产业链能级。装备材料，加强装备材料创新发展，突破光刻设备、刻蚀设备、薄膜设备、离子注入设备、湿法设备、检测设备等集成电路前道核心工艺设备；提升12英寸硅片、高端掩膜板、光刻胶、湿化学品、电子特气等基础材料产能和技术水平，强化本地配套能力。

据财联社主题库显示，相关上市公司中：

张江高科参股的微装公司是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，也是全球第四家生产IC前道光刻机的企业。

上海贝岭提供模拟和数模混合集成电路及系统解决方案，专注于集成电路芯片设计和产品应用开发。