《科创板日报》30日讯，芯源微公告，公司于2021年9月30日收到上海证券交易所出具的《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函》(上证科审(再融资)[2021]75号)，上交所审核机构对公司向特定对象发行A股股票申请文件进行了审核，并形成了首轮问询问题。