《科创板日报》25日讯，《科创板日报》记者获悉，截至2021年9月30日，芯源微在手订单金额为13.31亿元，较2020年末新增5.63亿元，增长73.44%。其中，前道设备前三季度新签订单金额为3.1亿元，同比新增2.14亿元，增长221.50%；后道设备前三季度新签订单金额同比增长3.62亿元，增长217.52%。（记者 章银海）