财联社5月27日电，北方华创披露投资者关系活动记录表公告，公司光伏单晶炉产能可以满足客户需求；近年来公司单晶炉产品累计向客户销售近5000台，由于硅原料价格持续高涨，导致下游客户晶棒制备扩产进度放缓，2022年一季度公司单晶炉产品出货相较往年有所减少。碳化硅长晶设备订单饱满，预计今年出货将超500台，已成为国内主流客户的首选产品。公司8吋碳化硅长晶炉已完成研发，并进入客户端。公司ALD设备已在客户端通过部分制程工艺验证，并实现应用。公司先进制程刻蚀机和薄膜沉积设备（14nm）已在客户端通过多道制程工艺验证，并实现量产应用。