2023年12月25日 13:31:55
佳能高管:压印技术有望造2纳米半导体
《科创板日报》25日讯,据日经中文网,佳能半导体机器业务部长岩本和德表示,纳米压印在晶圆上只压印1次,就可以在合适的位置形成复杂的二维或三维电路。如果改进掩膜,甚至可以生产电路线宽为2纳米的产品。纳米压印特点是设备构造简单。与使用很多透镜,一边照射光一边烧刻电路的传统方法相比,耗电量降至10分之1。设备价格也相对便宜,可以低成本实现半导体微细化。
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