财联社5月20日电，菲利华在互动平台表示，公司继推出国内首创的8.5代TFT-LCD用光掩膜基板后，于2022年研发成功了G10.5代，公司具备TFT-LCD用光掩膜基板G4.5代到G10.5代生产能力。子公司合肥光微光电科技有限公司的光掩膜基板精密加工项目已建成投产，具备批量供货能力。