2月5日午后，大盘回暖，半导体板块明显反弹，中证半导体材料设备主题指数率先翻红，截至14:10，上涨0.4%，指数成份股中，珂玛科技涨超9%，芯源微涨超6%，金海通、天岳先进涨超3%，中科飞测、中微公司涨超2%，半导体设备ETF易方达（159558）盘中净申购达1000万份。
中信证券认为，面对国内百万片级的先进产能缺口，国内晶圆厂正迎来扩产热潮，为设备市场释放出千亿美元的空间，且国产化率有望实现翻倍增长，看好半导体设备的投资机遇，关注具备平台化能力的领军企业及高弹性细分龙头。
中证半导体材料设备主题指数聚焦半导体设备与半导体材料领域，根据申万三级行业分类，指数半导体设备占比超60%，半导体材料占比约20%，权重股覆盖中微公司、北方华创、拓荆科技、长川科技、华海清科等行业龙头，在国产化趋势中具备较强弹性，投资者可通过半导体设备ETF易方达（159558）等跟踪该指数的产品精准捕捉产业发展机遇。