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金竟科技完成3亿元B轮融资 用于电子束曝光机产线建设及研发
原创
2026-09-16 23:21 星期三
科创板日报记者 徐杰
责编 何军
①金竟科技完成3亿元B轮融资,资金用于电子束曝光机及电镜产线建设、营销网络布局及研发。
②公司自主研发Pharos 310电子束曝光机获北京市首台(套)认证,已批量交付多家科研机构。

《科创板日报》16日讯,近日,北京金竟科技有限责任公司(下称“金竟科技”)完成3亿元人民币B轮融资。本轮融资由老股东康裕资本携涪江资本战投领投,传化集团、中信金石、项光隆先生共同投资。

本轮融资将主要用于三大核心方向建设:一是电子束曝光机及电子显微镜规模化生产线建设,全面提升产能与交付能力;二是全国区域营销与服务中心布局,构建覆盖科研、产业的立体化服务网络;三是核心技术团队扩充与下一代产品研发,持续巩固在微纳加工和电子光学领域的技术壁垒。

公司今年内继Pre-B轮后已完成第二笔融资。老股东康裕资本已连续三轮四次数亿元重磅加码金竟科技。

金竟科技成立于2018年,总部位于北京市海淀区,是一家专注于电子束曝光系统等高精尖微纳制造设备研发生产的高精尖微纳制造设备研发生产商。

公司由北京大学电子显微镜实验室俞大鹏院士团队领衔创立,致力于通过科技成果转化解决高端科学仪器“卡脖子”问题。核心团队均来自北京大学,汇聚数位拥有数十年行业经验的电子光学专家与高级工程师,是国内极少数掌握电子束产品全链条核心技术的团队。

依托北大电镜实验室技术积淀,自主研发Pharos 310电子束曝光机获北京市首台(套)认证。核心产品采用无掩模直写技术,实现最小加工线宽≤10nm、拼接/套刻精度≤±20nm。阴极荧光成像系统率先在国内量产,可兼容全球主流电镜品牌。电子显微镜整机产品将于年内发布并启动量产。

Pharos 310成为国内首款商业化电子束曝光设备,打破国外垄断。设备已批量交付天津大学、北京大学、中科院苏州纳米所等多家科研机构,成为国内电子束曝光领域首选国产供应商。“高精度电子束曝光机”项目获国家重点研发计划颠覆性技术创新重点专项立项支持。

电子束曝光机赛道获多项规划支持,微纳加工制造等共性工艺平台建设加速推进。

政策方面,工业和信息化部、国家发展改革委印发《电子信息制造业发展“十五五”规划》,提出夯实光子产业发展根基,推动光子产业核心环节技术取得突破,支持光子设计自动化、光电协同设计自动化等仿真设计软件研发迭代,建设微纳加工制造、光电融合集成等共性工艺平台。上海市人民政府印发《上海市加快推进新型工业化构建现代化产业体系“十五五”规划》,提到攻关高精度传感器、激光通信器件等关键装备,突破光波导、驱动芯片、核心装备、关键材料等环节。

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