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logo2021年10月08日 20:30:28
华特气体:光刻气产品获得日本GIGAPHOTON株式会社合格供应商认证函
《科创板日报》8日讯,华特气体公告,四款光刻气产品(Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne)获得日本GIGAPHOTON株式会社合格供应商认证函,公司目前是国内唯一一家同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体公司。
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