财联社8月15日电，光刻机概念日内震荡拉升，东材科技反包涨停，此前凯美特气、冠石科技涨停，久日新材涨超10%，上海新阳、晶瑞电材、华懋科技、新亚强涨超5%。消息面上，近日，作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备。