有投资者问,公司的半导体臭氧设备400g/L,这是浓度指标。而臭氧气体纯度指标,指的是臭氧气体的纯净度,即臭氧以外的杂质含量多少,在业内通用都是用%来表示,多少个9数字就代表多少N。同类型的公司比如天津奥尔斯曼,比如美国mks,在其半导体臭氧发生器的产品参数中,都有标注其产生的臭氧气体纯度达99.9995%,为6N水准。通常公认半导体级气体的纯度必须要达到至少5N,所以请问公司的臭氧设备产生的臭氧气体纯度多少
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