有投资者问华海清科(688120)，关注到公司已经开始向半导体平台企业发展，最新又布局了半导体设备的离子注入机，能否介绍下进展情况如何？跟国内外离子注入机厂商的技术路线和产品差异有哪些？
华海清科在互动平台表示，2023年，公司为进一步巩固、强化产业链协同效应，完善公司业务布局，完成对芯嵛半导体（上海）有限公司的增资事宜，增资完成后，公司持有其18%的股权。其所开发的离子注入机产品研发顺利，已实现小批量出货。