《科创板日报》14日讯，光刻机巨头ASML宣布扩产EUV与DUV乃至于下世代EUV设备计划。ASML说明，计划将年产能增加到90台EUV和600台DUV系统（2025-2026年），以及20台High-NA EUV系统（2027-2028年）。业界预计，从客户应用来看，晶圆代工需求最强，特别是先进制程技术投资不易降低，将持续带动ASML长期增长明朗。 (台湾经济日报)