《科创板日报》12月13日讯（记者 章银海） 随着半导体厂商纷纷扩产，国内相关设备公司近年来亦迎来发展“黄金期”。

“公司前三季度新签订单大幅增长，不仅后道及小尺寸销售符合签单预期，前道offline、I-line、KrF机台均实现批量销售，而且前道Track签单实现了快速放量。”董事长兼总裁宗润福在今日举行的第三季度业绩说明会上回应《科创板日报》记者称。

宗润福表示，公司财报上的合同负债主要是签单的预收款。由于产品系列较多，不同产品转化为收入期限也各不相同。截至9月末，公司合同负债金额为6.04亿元，同比增长110%，营收占比提升14.7个百分点至67.37%。

据了解，芯源微前道领域产品已经开始放量，前道新签订单占比不断提升。其中，公司前道晶圆加工领域用物理清洗机今年以来陆续获得了中芯国际、上海华力、青岛芯恩、武汉新芯、北京燕东等多个前道大客户的批量重复订单。

前道涂胶显影设备方面，除了获得中芯京城、上海华力、长江存储、合肥长鑫等客户重复订单外，今年公司12寸KrF涂胶显影设备首进士兰集科。

芯源微副总裁兼董秘李风莉曾提到，前道Track和光刻机联机是基于标准协议而连接的，公司早期就已完成了光刻机联机技术的攻克，两者可实现联机作业。“高产能架构平台将作为芯源微未来前道涂胶显影设备的通用性基础平台，覆盖浸没式等前沿光刻技术并向下兼容，应用场景广泛。”

产能布局方面，《科创板日报》记者了解获悉，主做前道涂胶显影机KrF及以下工艺机台以及前道物理清洗机等产品的沈阳彩云路厂区已于今年7月末竣工；主做前道涂胶显影机ArF及以上工艺机台以及前道化学清洗机的上海临港厂区已正式开工四月有余，预计春节前完成各个单体建筑的结构封顶。

不过，尽管公司业绩受益于市场需求旺盛而处于上升趋势，但仍将面临限售股解禁的考验。

数据显示，2022年12月16日，包括公司高管在内的8名首发股东解禁，上市流通的限售股共计3935万股，占公司总股本的42.5%；一周之后的12月23日，易方达基金、国泰君安等11家定增参与方解禁，解禁数量占公司总股本的8.69%。

值得注意的是，公司副总裁崔晓微曾于2021年下半年减持；11家机构定增认购价为124.29元/股，截至12日收盘浮盈53.4%。