财联社2月15日电，午后光刻机板块震荡上行，新莱应材涨幅近10%，富创精密、上海新阳、飞凯材料、芯源微涨幅靠前。据报道，中芯国际将2023年的资本开支从50亿美元提升到了66亿美元，约450亿元，主要用于扩大对DUV光刻机的采购。