三月以来,多位分析师认为国产光刻机曙光初显,目前国内厂商上海微电子已实现90nm量产(600系列光刻机),正在攻坚28nm光刻机,若能顺利跑通,将是全本土化产线的一大步迈进,其中产业链多环节更是已经形成一定的配套能力,看好零部件有望先行。