2024年04月12日 08:38:29
国内薄膜铌酸锂光子芯片产业化取得重要进展
《科创板日报》12日讯,4月11日上午,南智先进光电集成技术研究院(简称“南智光电”)铌酸锂光子芯片产线启动仪式在新区举行。南京江北新区消息显示,本次启用的产线,具备了光刻、刻蚀、镀膜、研抛、湿法等系列核心技术工艺。这意味着国内薄膜铌酸锂光子芯片产业化取得重要进展。产线配备3.5亿元规模设备、5000平方米超净间,覆盖了整个产业链的核心工艺,月产能一千片晶圆。
收藏
370.67W
我要评论
图片
欢迎您发表有价值的评论,发布广告和不和谐的评论都将会被删除,您的账号将禁止评论。
发表评论
关联话题
6644 人关注
关于我们|网站声明|联系方式|用户反馈|网站地图|友情链接|举报电话:021-54679377转617举报邮箱:editor@cls.cn财联社举报
财联社 ©2018-2026上海界面财联社科技股份有限公司 版权所有沪ICP备14040942号-9沪公网安备31010402006047号互联网新闻信息服务许可证:31120170007沪金信备 [2021] 2号