2024年08月08日 12:49:29
imec使用ASML最新High-NA EUV取得芯片制造突破
《科创板日报》8日讯,比利时微电子研究中心(imec) 宣布,其与ASML的联合实验室在电脑芯片制造方面取得多项突破。据imec介绍,使用imec及其合作伙伴在imec高级图案化计划框架内针对High-NA EUV优化的材料和基线工艺,已成功单次印刷出逻辑芯片和DRAM电路,其尺寸等于或小于目前商业生产中最先进的电路。这一进展表明,芯片制造商能够按照计划在未来几年内使用ASML最新设备制造出更小、运算速度更快的芯片。
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