《科创板日报》26日讯，据芯上微装公众号消息，公司自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场。据介绍，AST6200光刻机专为功率、射频、光电子及Micro LED等先进制造场景量身定制。