财联社5月21日电，半导体设备股反复走强，盛剑科技2连板，联动科技涨超10%，芯源微、盛美上海、富乐德、华峰测控跟涨。消息面上，长江证券认为，2025至2027年全球晶圆厂设备支出将持续增长。国内龙头在刻蚀、薄膜沉积、清洗等关键设备领域市占率稳步提升，且研发投入持续加码，产品矩阵不断完善，在国产化替代趋势下长期成长性明确。