财联社6月9日电，早盘半导体设备股活跃，洁净室方向领涨，亚翔集成2连板，圣晖集成逼近涨停，富创精密、华康洁净、柏诚股份、中微公司、美埃科技跟涨。消息面上，台积电重申2026资本开支为520~560亿美金，内部倾向于接近上限。全行业扩产的背景下，洁净室、厂房成了瓶颈环节。