财联社6月9日电，午后半导体设备板块持续走高，洁净室方向继续领涨，新莱应材、正帆科技、晶升股份封20cm涨停，此前富创精密、亚翔集成、圣晖集成等多股涨停，恒运昌、晶盛机电、高测股份均涨超10%。