财联社7月21日电，午后半导体设备板块持续走高，半导体设备ETF易方达（159558）、半导体设备ETF广发（560780）、半导体设备ETF华夏（562590）封涨停，科创半导体设备ETF鹏华（589020）、科创半导体设备ETF华夏（588170）等涨超10%。