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2026年10月14日 14:21:39
独家|微导纳米将发布PVD新品 补齐三大薄膜沉积路线产品布局
《科创板日报》14日讯，《科创板日报》记者在2026湾芯展现场独家获悉，微导纳米将于展会期间发布iMagtron PVD系列两款新品，并推出基于iTomic MeT设备的Ru ALD新工艺，攻克钌薄膜超薄连续成膜难题。本次新品亮相标志该公司补齐PVD板块，完成ALD、CVD、PVD三大薄膜沉积路线产品布局。 （科创板日报记者 曾乐）
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