财联社11月12日电，半导体设备板块表现活跃，屹唐股份涨近10%，中微公司、长川科技、华峰测控、托伦斯跟涨。消息面上，中微半导体设备(上海)股份有限公司近日发布其全新产品——Primo Matrix双反应台等离子体晶圆切割设备，近日宣布首台设备已顺利付运国内重要集成电路封装客户。