2020年10月14日 15:21:39
独家电报| ASML:DUV光刻机NXT:2050i将立即进入批量生产
《科创板日报》14日讯,据《科创板日报》记者从ASML获悉,在DUV光刻业务领域,ASML在本季度对第一台TWINSCAN NXT:2050i进行了质量认证,并于第四季度初发货。NXT:2050i基于NXT平台的新版本,其中包括掩模版工作台,晶圆工作台,投影物镜和曝光激光器的技术改进。由于这些创新,该系统提供了比其前身更好的套刻精度控制,并具有更高的生产率,而且,NXT:2050i 将立即进入批量生产。(记者 戚夜云)
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