《科创板日报》20日讯，据《《科创板日报》记者获悉，在应用业务中，ASML在第四季度向客户交付了第一台YieldStar 385系统。YieldStar 385具备最新的量测技术，提高量测速度和准确度，可以满足3纳米制程的要求。 与以前的系统相比，主要的增强功能包括更快的工作台和更快的波长切换，这可以实现高精度的套准测量和使用多个波长的设备匹配。（记者 戚夜云）