中微半导体设备（上海）有限公司自主研制的5纳米等离子体刻蚀机最近经台积电验证，性能优良，将用于全球首条5纳米制程生产线。台积电计划明年进行5纳米制程试产，预计2020年量产。

刻蚀机是芯片制造的关键装备之一，曾是一些发达国家的出口管制产品，但随着我国技术突破，这种高端装备在出口管制名单上消失了。中微半导体是国内半导体行业首屈一指的、具有完全自主知识产权的民族品牌，此次其自主研制的5纳米等离子体刻蚀机，突破了“卡脖子”技术，让“上海制造”跻身刻蚀机国际第一梯队。业内认为，中微与泛林、应用材料、东京电子、日立4家美日企业一起，组成了国际第一梯队，为7纳米芯片生产线供应刻蚀机。已通过验证的国产5纳米刻蚀机，预计会获得比7纳米生产线更大的市场份额。

半导体芯片、创投相关公司：

可立克：通过创投基金参股独角兽中微半导体。

四川双马：通过义乌和谐参股中微半导体。