科创板半导体设备巨头中微公司披露了定增认购情况，总额82.1亿元的市价定增，最终获20家中外知名机构认购。其中大基金二期获配最多，达25亿元；高毅旗下的两只基金获配5.39亿元；新加坡政府投资公司、瑞银集团也均有参与。

本次定增募投的产业化基地建设项目，拟扩充和升级的产品类别为等离子体刻蚀设备、MOCVD设备、热化学CVD设备等。

东吴证券周尔双表示，2020年我国已是全球半导体设备销售额最大的市场，但设备自制率仍较低，增长空间巨大。

据财联社主题库显示，相关上市公司中：

北方华创今年以来刻蚀、CVD等产品取得重要突破，收到国内领先存储公司的订单；晶盛机电的12英寸单晶炉及部分加工设备已实现批量销售，在国内知名客户产业化应用。