《科创板日报》6日讯，据徐州新闻报道，日前，中科汉韵半导体有限公司（简称“中科汉韵”）设备陆续进场安装调试，明年5月全面达产后，将年产5000片碳化硅功率器件等分立半导体器件。此外，中科汉韵董事长袁述表示，设备在陆陆续续的安装中，从光刻机到薄膜，到刻蚀化学腐蚀离子注入等等，都是比较先进的。大概到明年二月底之前希望能够全部进来安装。据了解，中科汉韵二期项目计划2021年开始实施，全新配置6寸工艺线，将成为国内首家规模化生产碳化硅MOSFET芯片和模块的企业。